往復式真空泵原理及性能特點:

與往復泵傳輸介質的原理類型，往復式真空泵也是利用汽缸與活塞進行往復運動從而產生吸氣的一種設備裝置，不同是一個是輸送介質一個抽取真空。由于往復式真空泵工作介質是氣體，因此在活塞運行到外止點時，應力將氣缸內的氣體盡量排出，以免剩余氣體過多而造成活塞向內運動吸氣時這部分氣體膨脹而減少吸氣量。

當然與往復泵進液閥和排液閥的結構相比，其進氣閥和排氣閥的結構也有不同之處。圖5-22所示為具有平面滑閥配氣機構的往復式真空泵套在主軸上的偏心輪2旋轉時，帶動操縱桿3作往復運動，從而帶動滑閥配氣機構1中的平面滑閥，使其作往復運動。偏心輪主軸的偏角為90oa。

平面滑閥配氣機構是往復式真空泵不同于其他輸送泵重要特征:

往復式真空泵平面滑閥配氣機構如圖5-23所示。滑閥上開有一倒“II”形氣道，當活寨移至止點時，平面滑閥正位于中間位置，氣缸余隙中沒有排出的壓力較高的氣體便通過此“II"形氣道而流人活塞另一側的工作室內，也就是說，通過這個“n”形氣道，降低了排氣側的壓力，使排氣側沒有排完的相當一部分進入另一例，能夠在另一側排出。這樣，就提高了真空泵的氣缸工作效率，平衡了活塞止點處兩側的壓力。

平面滑閥配氣機構主要是起到壓力平衡作用。排氣壓力與進氣壓力的比值稱為壓力比。如果要得到95%的真空度，當其吸人壓力為38x33. 32Pa，排出壓力為760x 133. 2Pa時，壓力比￡一籌二20，在這樣高的壓力比的情況下，其容積系數便舍降得很低，以至使抽氣速率降到接近于零。因此，必須在結構上采取提高容積系數的措施。這個措施一般是采用壓力平衡的方法。

由于往復式真空泵結構復雜性，也決定了它維修的難度。但它無需用油府潤滑，在眾多領域也廣泛應用，為了能更好的利用往復式真空泵的性能提高工業生產的需要，近年來，進過不斷專研，很多廠家對泵浦進行了很好的改良，例如平面滑閥改為像壓縮機中的自動彈簧進排氣閥，這樣不但對泵浦結構進行簡單化，同時也可以側面提供轉速，當然泵浦的體積也可以減小。